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nXDS干式涡旋真空泵
    发布时间: 2020-01-06 15:55    
nXDS干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和最先进的设计特性,性能居同类产品之首。

nXDS泵在其他涡旋泵的基础上进行优化,提高了抽速,获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸气(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采用了最新的端面密封技术,显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

nXDS-C是改进型,更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz®内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇,因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。

轴承罩
可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离,以确保清洁的真空环境,并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中,从而延长轴承的使用寿命。
变频器驱动
全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性,从而有助于打造最佳用户体验。
优化涡盘设计
转速提高, 极限真空比第一代提高一个数量级,最低极限压力仅为7 x 10-3mbar。
优化端面密封技术
使用寿命发生显著变化,就大多数应用而言,典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。
高流量气镇特性:可以最高220 g/hr的速度抽取蒸气(包括水蒸气)。


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